實驗室管理辦公室:電話:020-87236263,020-87234661傳真:020-87237017失效機理及數量模型研究室電話:020-37231385失效分析新技術研究室電話:020-87237725可靠性試驗與評估技術研究室電話:020-87239857可靠性設計研究室電話:020-87237897地址:廣州市天河區東莞莊路110號301樓
包括掃描電子顯微鏡(SEM),聚焦離子束系統(FIB),光發射顯微系統(EMMI)等??蛇M行顯微形貌觀察,芯片微納尺度的精細切割和電路修改,正反面nA級微光探測定位,定位精度小于2μm。
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