實驗室管理辦公室:電話:020-87236263,020-87234661傳真:020-87237017失效機理及數量模型研究室電話:020-37231385失效分析新技術研究室電話:020-87237725可靠性試驗與評估技術研究室電話:020-87239857可靠性設計研究室電話:020-87237897地址:廣州市天河區東莞莊路110號301樓
包括兩維和三維X射線顯微系統(3D-Xray)、聲學掃描顯微鏡(SAM)等??蓪Ψ庋b級元器件及板級電路的結構進行無損檢測分析。X射線系統三維結構極限分辨率為1μm;聲學掃描顯微的X/Y掃描精度:0.1μm。
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